王明义 李立毅 唐勇斌

在以多轴高档数控机床、极大规模集成电路和重大科学仪器为代表的高端精密制造装备中，永磁同步直线电机作为直驱式传动系统，能够实现微纳米级的运动精度。但高速、高精度等多极限性能指标成为其技术瓶颈，其中提高输出推力品质一直是该研究方向的重点难点。本书依托国家自然基金面上项目（52077041）和重点项目（51537002）、中央引导地方科技发展资金项目（YDZX20203100004943）等，总结了高端